問題:
我什麼時候應該在 WaferID 應用程式上使用紅外線照明?哪些狀況不適合使用?
回答:
• 在後處理晶圓中,晶圓表面塗覆的抗蝕劑沉積可能會使符號變得模糊。

解決方案:
(1)紅外線輻射具有很高的透射率,可以穿透抗蝕劑薄膜,如果紅色照明型號不能按預期讀取符號,則值得嘗試具有紅外線照明的型號 (In-Sight 1722/1742)。
(2)另一方面,紅外線照明模型的影像感測器靈敏度比紅色照明模型低,這往往會導致影像較暗。如果您不打算傳輸抗蝕劑,紅色照明可能會導致更高的讀取率。建議對兩種模型進行比較和驗證。
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