晶圓 NOTCH 定位
在狹小的空間限制下，維持精準的半導體晶圓校準

精密半導體製程，從 Notch 定位開始
在半導體自動化產線中，晶圓的正確方向與校準是後續製程成功的關鍵。而晶圓上極小的 Notch 缺口（或 Orientation Flat） 是用來判定方向的依據。不論是光罩對位、AOI 檢測、封裝或雷射打標，若未準確偵測 Notch 位置，將導致整個流程錯誤，影響良率與設備稼動率。

常見晶圓 Notch 定位痛點
• 空間受限：設備內部空間狹小，無法使用大型視覺系統
• 光源干擾：Notch 尺寸微小，且材質具反光性，傳統光源難以取得穩定對比
• 晶圓角度偏差大：上片時方向不一，需快速校正旋轉角度
• 整合困難：需要與現有自動化設備無縫整合，並確保高效能運行

解決方案：
使用 COGNEX In-Sight 智能相機 精準抓取 Notch，COGNEX In-Sight 系列智能相機 提供整合光源、鏡頭、處理器於一體的高性能影像辨識能力，非常適合狹小空間內的高速晶圓定位任務。

成效數據
• Notch 定位準確度提升至 ±0.1° 以內
• 每片晶圓校正耗時 < 0.2 秒
• 設備整體稼動率提升 15%
• 維修與手動校準次數降低 80%

為什麼選擇 COGNEX In-Sight？
• 全球市佔第一的工業視覺品牌
• 經實績驗證於多家半導體封裝、測試及晶圓傳載設備中穩定運行
• 提供中文技術支援與客製化整合服務