PATLITE CLA-02 黃色 LED 工作燈|半導體光阻製程與黃光無塵室照明

PATLITE × 宇佑科技

半導體黃光製程的工作照明

曝光設備、光阻作業區與黃光無塵室在選擇工作燈時,需要同時確認光阻的感光波段與現場照度。PATLITE CLA-02 黃色 LED 工作燈的主波長為 590 nm,430–490 nm 波段成分極低,可依製程條件評估導入。

卓越的亮度與更高的能源效率

乳白色無接縫外殼搭配 120° 廣角配光,可均勻照亮較大的工作範圍。PATLITE 提升了 LED 發光效率,以 300 mm 日光色機型比較,較原廠舊款全光束提升 65%、照度提升 71%。下方 1 m 照度分布為原廠計算值,實際照度會依安裝條件而異。

120° 照射範圍
120° 照射範圍
CLA3 日光色照度分布(距離 1 m)
CLA3 日光色照度分布(距離 1 m)
日光色相對光譜分布
日光色相對光譜分布

高耐用性與衛生設計

耐衝擊聚碳酸酯外殼可降低破損與異物混入風險。原廠標示工作溫度為 −40°C 至 +60°C,燈體符合 IP67/IP69K,並通過 Ecolab 評估試驗。可依實際溫度、清洗方式與藥劑條件,評估用於低溫倉儲、食品包裝或製藥設備。清洗時應避免線纜長時間直接承受強水流。

Ecolab 評估試驗
Ecolab 評估試驗
IP67/IP69K 防護
IP67/IP69K 防護
CLA-02 耐用與衛生設計示意
CLA-02 耐用與衛生設計示意
工作溫度 −40°C 至 +60°C
工作溫度 −40°C 至 +60°C

應用案例|半導體光阻製程照明

半導體曝光設備與光阻作業區可評估使用 590 nm 主波長的 CLA-02 黃光款,降低工作照明造成光阻非預期感光的風險。局部工位可先評估 300 mm/140 lm,較長的照明區段可評估 600 mm/280 lm,再依光阻感光波段、安裝距離與目標照度確認選型。

半導體製造廠應用示意
半導體製造廠應用示意

圖片與比較資料來源:PATLITE 原廠 CLA-02

兩款黃光機型,依工位範圍選型

  • CLA3-02JSN-Y|300 mm/140 lm,適合評估局部工位照明。
  • CLA6-02JSN-Y|600 mm/280 lm,適合評估較長的照明區段。

兩款皆採 DC 24 V 線纜接線,燈體符合 IP67/IP69K。宇佑科技可依安裝空間、光阻感光波段與目標照度,協助評估燈具、支架及配線。

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資料與圖片來源|PATLITE 原廠 CLA-02

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