4吋晶圓角度檢出

利用視覺工具，計算各尺寸晶圓角度位置判讀與輸出

詳細資訊


採用角度工具抓取要檢測的兩側邊緣，利用兩側邊緣點取得平行邊的中心位置，水平邊中心座標與Pattern中心座標，計算角度的偏差。
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