電子業｜機器視覺應用
以晶圓上可辨識的邊緣或方向特徵取得角度資訊，支援工站定位。
4 吋晶圓角度檢出｜機器視覺定位
利用視覺工具，計算各尺寸晶圓角度位置判讀與輸出
詳細資訊
採用角度工具抓取要檢測的兩側邊緣，利用兩側邊緣點取得平行邊的中心位置，水平邊中心座標與Pattern中心座標，計算角度的偏差。
導入評估需要哪些資料？
請準備晶圓外形、方向特徵、角度公差與載具條件。宇佑科技可依樣品與工站條件評估取像、視覺選型及設備串接方式，並與您確認驗證項目。
